水环真空泵牵引分子泵为前级泵的真空机组
2020-11-23 10:05 点击：
水环真空泵目前该项目所采用的真空系统为某公司进行设计，该公司作为国内真空系统方案解决的行业龙头水环真空泵限于技术上的瓶颈，仍采用传统的真空机组（即以罗茨泵为前级泵、普通涡轮分子泵为主泵的真机组），并没有很好地解决真空室污染的问题。为此甲方单位委托哈工大现代设计实验室进行该课题的预研，提出解决方案。根据真空环境的技术指标要求，本课题提出了超洁净分子泵机组的概念，并进行设计分析。该装置的设计及后期的研制将有利于超洁净真空环境的获得，为实现神光III工程后续任务的顺利进行提供技术保障。进行了著名的马德堡半球实验，从此人们对大气压力有了进一层的认识，物理学家们开始对低气压中的现象进行研究。
工程师也开始发明和改进各种获得低压环境的抽气机、真空泵。它是将多级罗茨转子串联组成的多级干式泵。45%以上的欧美半导体行业相关厂家已经用了干式真空泵去代替油封式机械泵，大大提高了产品的质量和性能。现代加工工艺和分子泵设计理论较之前有了很大发展。为了实现真空获得设备的清洁化、微型化，国外一些公司也已经开发出多个系列的由涡旋级转子与多螺旋槽牵引转子组成的复合式分子泵，并可以实现从高真空到大气的直接抽气，这可以认为是真空获得设备发展的重大突破。半导体工业、惯性约束聚变、宇宙空间模拟等技术的发展对真空环境的可靠性、绝对干式化提出了要求展示了现代涡轮分子泵在光刻机中的应用。真空行业应该为用户提供高品质的、使用方便的洁净的新型干式泵。
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