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发布:admin 时间:2026-06-10
液环真空泵是一种以液体为工作介质的粗泵。其中以水为工质的称为水环真空泵,其他的也可以以油、硫酸、醋酸为工质。工业水环真空泵使用较多。液体真空泵有单级和双级之分,还有单作用和双作用之分。单级和双级真空泵是指其叶轮的级数;单/双作用是指其叶轮/外壳的形式。单作用叶轮真空泵的叶轮旋转一周,气体吸入/排出一次。双真空泵叶轮旋转一周,气体吸入和排出两次。

选择液环真空泵时,应注意以下事项:
1、真空泵的工作压力应满足极端真空和真空设备工作压力的要求。例如真空镀膜要求真空度为110-5mmHg,所选真空泵的真空度至少应为510-6mmHg。通常情况下,泵的真空度比真空设备高半个到一个数量级。
2、正确选择液环真空泵的工作点。每个泵都有一定的工作压力范围。在很宽的压力范围内,泵的抽速随压力而变化,其稳定的工作压力范围。因此,泵的工作点应选择在这个范围内。
3、在其工作压力下,真空泵应能排出真空设备过程产生的所有气体。
4、液环真空泵的正确组合。由于选择性吸入,有时一台泵不能满足进气要求,需要结合几台相互补充才能满足进气要求。例如钛升华泵对氢气有极高的泵送速度,但不能抽氦,三极溅射离子泵对氩有一定的泵送速度。结合两个泵,真空装置可以得到更好的真空度。另外,有些真空泵不能在气压下工作,需要提前抽真空。部分真空泵的出口压力低于气压,因此需要组合泵。
5、真空设备对油污的要求。 如果严格要求无油设备,则需要使用各种油泵,包括水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。要求不严格,可以选择油泵,还可选择一些防止油污的措施,如冷阱、挡板和集油器。也能满足干净真空的要求。
6、了解泵送气体的成分,气体是否含有可凝蒸汽、颗粒粉尘、腐蚀性等。在选择真空泵时,你需要了解气体的成分,并为要抽的气体选择相应的泵。如果含有蒸汽、颗粒和腐蚀性,应考虑在泵的入口管道上安装辅助设备,如冷凝器和除尘器。
7、液环真空泵排出的油气对环境的影响。如果不允许污染环境,可以选择无油真空泵或者将油蒸气排到外面。
8、真空泵工作时产生的振动对工艺和环境有影响吗?如果工艺不允许,应选择无振动泵或采取防振措施。
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